特征

通過采用含有催化劑的熱分解器，實(shí)現(xiàn)減少干擾帶來的影響
單觸式的傳感器更換方式
搭載新型智能化傳感器
采用易于觀察的大型字符LCD
搭載流量自動調(diào)整功能

用途

用于檢測半導(dǎo)體工廠內(nèi)的C4F6/C5F8/COS
用于對儲氣瓶存放柜及半導(dǎo)體制造裝置進(jìn)行檢測
用于無塵室內(nèi)的環(huán)境監(jiān)測

商品目錄

產(chǎn)品類別	固定式
類型	智能型檢測部
檢測對象氣體	C₄F₆/C₅F₈/COS
檢測原理	催化＋定電位電解式
檢測范圍	0～5ppm（C₄F₆?C₅F₈） 0～15ppm（COS）
報警設(shè)定值	1st：2ppm/2nd:4ppm（C₄F₆?C₅F₈） 1st：5ppm/2nd:10ppm（COS）
檢測方式	泵吸式
報警種類	氣體報警/故障報警
報警內(nèi)容	1st：ALM1指示燈閃爍、或亮燈(紅色) 2st：ALM2指示燈閃爍、或亮燈(紅色)
電源	AC100～240V±10%
外形尺寸?重量	約180(W)×225(H)×285(D)mm（不包含突起部分）約6.0kg
使用時的溫濕度范圍	20～40℃（無驟變） 40～70%RH（無結(jié)露）

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